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Solar - Orion - NiR Inspektion
Solar - Orion NiR Inspektion

ORION – NIR Inspektion

Optimieren Sie Ihren Fertigungsprozess

Die Erkennung von Fremdmaterial in multikristallinen Siliziumblöcken wie z.B. SiC ist entscheidend für die Stabilität des nachfolgenden Waferprozesses. Andere Einschlüsse wie z.B. Si3N4 können die Leistungsfähigkeit der Zelle sowie die mechanische Stabilität der Wafer und Zellen verringern. Insbesondere beim Wafersägeprozess mit Diamantdraht muss auf kleinste, harte Einschlüsse (< 0.1 mm) geachtet werden. Daher ist es umso wichtiger, die hochauflösende NIR Prüfung zur Erkennung dieser Materialien vor dem Sägeprozess durchzuführen. Darüber hinaus können Sie mit Hilfe von detaillierten Bildern und 3D Darstellungen von Einschlüssen den Kristallisationsprozess optimieren.

Das Intego ORION NIR Prüfsystem gewährleistet eine vollautomatisierte inline NIR Prüfung und bietet damit die beste Möglichkeit, die Qualität, Stabilität und Effizienz der weiteren Arbeitsprozesse und Ihres Endproduktes zu gewährleisten.

Leistungsdaten

Das ORION NIR Prüfsystem kann Blockgrößen bis zu 210 x 210 x 1000 mm³ verarbeiten und weist – je nach Systemkonzept, Blocklänge und der geforderten Genauigkeit – Zykluszeiten von 1 bis 5 Minuten pro Block auf.

  • Erkennung kleinster Strukturen von Si3N4/SiC Einschlüssen
  • Erstellung von Schnittvorschlägen
  • Wartungsfreier Hochleistungs NIR Laser

Technische Optionen

  • Kombination mit der ORION 3D Geometrievermessung
  • Rauheitsmessung
  • Markierungsstation für Schneidevorschläge
  • Präzisionswaage
  • MDP Lebensdauermessung
  • Barcodescanner

Die Standard Bildauflösung für eine inline Prüfung beträgt 100 µm. Optional bieten wir das ORION SHR (Super High Resolution) Prüfsystem mit einer optimalen Auflösung von 18 µm an. Somit wird die Qualität, Stabilität und Effizienz der weiteren Arbeitsprozesse und Ihres Endproduktes gewährleistet.

Beste Bildqualität

Die Pixelauflösung von 18 µm, ein ausgezeichneter Fokus im gesamten Block und ein scharfer Kontrast ermöglichen die Erkennung kleinster nadelförmiger Fehler und SiC Partikel und bilden somit die optimale Voraussetzung für einen stabilen Diamantdrahtsägeprozess. Indem Sie die Art der Einschlüsse und deren Lage im Block genau bestimmen, können Sie den Kristallisationsprozess optimieren. Erhöhen Sie den Ertrag, indem Sie den Ausschuss verringern.

Labor oder Produktionsumfeld

Die automatisierte Prüfung von Siliziumblöcken eignet sich sowohl für die automatisierte Fertigung, als auch für den manuellen Betrieb als stand-alone System, z.B. für das Labor.

Die Intego ORION Prüfsysteme verfügen über eine einfach zu bedienende hochmoderne Benutzeroberfläche. Eine Vielzahl an Möglichkeiten für die 3D Visualisierung der Ergebnisse und der Fehlerdichtedarstellung, das Bereitstellen von benutzerdefinierbaren PDF Berichten sowie sogar die Erstellung von Filmen eines virtuellen Fluges durch den Block benötigen nur ein paar Mausklicks. Die Ergebnisse werden auf einem Benutzermonitor dargestellt, an dem Systemparameter angepasst, Prüfergebnisse überwacht und externe Steuersignale abgerufen werden können. Die Ergebnisse können auch an eine bestehende Automatisierung und/oder MES übermittelt werden (z.B. durch Profibus, Ethernet). GEM/SECS, SemiE10, XML werden unterstützt, kundenspezifische Protokolle können auf Anfrage integriert werden.

Sollten Sie eine individuelle Lösung wünschen, bietet Intego kostenlose Voruntersuchungen auf Basis von Musterteilen an. Mit der Studie erhalten Sie ein Systemkonzept mit einer Preisabschätzung. Zögern Sie nicht, uns direkt zu kontaktieren.