Maßgeschneiderte Inspektionssysteme für Spezialanwendungen

Optimieren Sie Ihren Fertigungsprozess

Die Nachfrage nach kundenspezifischen optischen Inspektionssystemen nimmt ständig zu. Ein neuer Fertigungsprozess, ein neues Produkt oder das Auftreten eines neuen Fehlertyps erfordert oft eine angepasste Lösung. Seit mehr als 20 Jahren entwickelt Intego in enger Zusammenarbeit mit seinen Kunden kundenspezifische Defektinspektions- und Metrologiesysteme für den Front-End- und Back-End-Bereich der Halbleiterindustrie. Anforderungen an Durchsatz, Handling, Schnittstellen, SEMI-Konformität und Betriebskosten werden während der Entwicklungsphase in gleicher Weise berücksichtigt wie die optische Inspektionstechnologie, die das Herzstück des Systems bildet. Am Ende erhält der Kunde ein maßgeschneidertes Prüf- bzw. Messsystem, das seine Anforderungen bestmöglich erfüllt und damit einen dauerhaften Beitrag zur Verbesserung der Produktqualität und Produktivität leistet.

Typische Inspktionsaufgaben sind:

• UV bis NIR Photolumineszenz (AQUILA PL): Defekterkennung und Materialcharakterisierung im Bereich der Opto- und Leistungselektronik (e.g. LED, SiC, GaN)
• Spektrometrie: anspruchsvolle Klassifikation kristallographischer Defekte für Materialien in der Leistungselektronik
• Ladungsträgerlebensdauermessung (MODULUM): räumlich aufgelöste Messungen der Ladungsträgerlebensdauer basierend auf modulierter Lumineszenz
• Infrarotinspektion: hochaufgelöste Detektion von Mikrorissen in Halbleiter- und MEMS-Wafern
• Kanten- und Notchinspektion (LYNX): vollständige Waferkanten- und Notchinspektion mit einem bisher einmaligen Inspektionskonzept
• Oberflächeninspektion: empfindliche Oberflächeninspektion mittels Laserstreuung; zuverlässiger Nachweis von Partikeln bis hinunter zu 100 nm und teils noch kleiner
• Inspektion von großen und ungleichmäßig geformten Wafern, Substraten und Panels: Multikamerakonzepte und kundenspezifische Handlingslösungen für die zeitoptimierte Inspektion von nicht standardmäßigen oder übergroßen Halbleitersubstraten
• Mikrorissinspektion: hochempfindliche optische Detektion von Mikrorissen in gesägten Wafern (z.B. LED, MEMS, Leistungshalbleiterdioden)
  

Wir freuen uns, dass unser Beitrag zum Photolumineszenzscanner im Rahmen der Leistungselektronik Konferenz PCIM in Nürnberg mit dem Semikron Innovation Award 2016 ausgezeichnet wurde. Die Pressemitteilung finden Sie unter anderem hier.

Einige allgemeine Leistungsdaten

Anwendung

• kundenspezifische und flexible Hardware- und Softwarelösungen für die Wafer- und Chipinspektion
• Inspektion von opaken, teiltransparenten und transparenten Wafern
• Anlagenkonzepte für unterschiedlichste Wafergrößen und -formen (Spektrum reicht von Standardwafergrößen bis hin zu 500 mm x 500 mm großen Substraten)

Technologie

• Kombination mehrerer Prüf- und Messmethoden in nur einer Anlage
• gleichzeitige Inspektion mit mehreren Fokusebenen, Vergrößerungen und Beleuchtungsszenarien
• spezielle Inspektionsmethoden zur verbesserten Bildaufnahme bei ungleichmäßiger Höhenverteilung der Chips auf der Trägerfolie
• Inspektion mittels Hellfeld, Dunkelfeld, Durchlicht, Laserstreuung, Polarisation, Photolumineszenz, Interferometrie, Thermographie, DIC, etc.
• maßgeschneiderte Beleuchtungen von UV bis IR
• höchstauflösende Messmethoden bis zu 0.2µm

Waferhandling

• individuelle EFEM-Lösungen oder Standard-EFEM-Anbieter (z.B. Rorze, Brooks, InnoLas)
• maßgeschneiderte Chuck- und Endeffektorlösungen
• spezielle Reinraum- und Minienvironment-Lösungen

Software

• fortschrittliche Bildverarbeitungsalgorithmen basierend auf modernsten PC-Cluster-Lösungen
• automatische Chipinspektion auf Basis des Golden Samples-Prinzips oder der CAD-Information
• firmeneigene automatische Fehlererkennungs- und Klassifizierungsalgorithmen
• spezielle Mustererkennungs- oder Deep-Learning-Lösungen
• umfangreiche Software zur Waferdefektanalyse, Ergebnisaufbereitung u. Yield-Bestimmung
• maßgeschneiderte GUI, KLARF Reporting und SQL-Datenbanklösungen
• SEMI-Softwareschnittstellen inkl. SECS/GEM

Weitere Möglichkeiten

Sollten Sie eine individuelle Lösung wünschen, bietet Intego kostenlose Voruntersuchungen auf Basis von Musterteilen an. Mit der Studie erhalten Sie ein Systemkonzept mit einer Preisabschätzung. Zögern Sie nicht, uns direkt zu kontaktieren.