Zellen

Die komplexen Prozessschritte der Zellfertigung müssen hoch effizient
geführt und daher ständig überwacht werden. Für eine frühzeitige
Erkennung von fehlerhaften Zellen und Produktionsdrifts helfen wir Ihnen mit unseren individuellen Prüfmodulen.

• Druckprüfung (Laserkontrolle, Geometrieprüfung, ARC)
• Mit Auflösungen bis zu 10 µm lassen sich die einzelnen Druck- (front contact, back contact, back field) oder Laserprozesse in der Linie überwachen. Die Geometrien der Zellen werden vermessen. Fehler wie Ausbrüche, Risse, sowie Verschmutzungen werden erkannt. Der ARC Prüfumfang reicht von einer einfachen Farbklassifikation bis hin zur Bestimmung der optischen Parameter (Schichtdicken, Brechzahlen, Extinktionskoeffizienten).
  
  • APUS

• Mikrorisse
  Die Durchleuchtung der Wafer im Infrarotbereich macht Mikrorisse zuverlässig sichtbar. Durch den Einsatz neuer Technologien werden Pseudofehler minimiert.
  
  • ANTARES
  • TAURUS

• Quality Tracking
  Durch die Nutzung der natürlich vorhandenen Kornstrukturen kann ein Wafer in der Fertigung bis zur Zelle verfolgt und außerdem seine ursprüngliche Position im Brick bestimmt werden.
  
  • GEMINI Block Rekonstruktion
  • GEMINI Quality Tracking
  • GEMINI Stand Alone System