Taurus

Unser Prüfsystem TAURUS ermöglicht die Inspektion von ganzen Waferstapeln auf Mikrorisse und Einschlüsse. Die seitliche Infrarotdurchleuchtung durch die Wafer bringt den entscheidenden Vorteil, dass dieses Konzept nicht von Kornstrukturen gestört wird. Durch die exakte Bestimmung der Position von defekten Wafern in einem Stapel können diese anschließend aussortiert werden.
 
Features

• Seitliche Infrarotdurchleuchtung von Wafern
• Adaptierbar auf Solarzellen
• Detektion von Mikrorissen und Einschlüssen
• 3D Rekonstruktion der Defekte im Stapel
• Zählen der Wafer im Stapel
• Speicherung der Positionen von defekten Wafern im Stapel für spätere Aussortierung
• Automatisierte Varianten zur gleichzeitigen Prüfung mehrerer Stapel möglich

Nutzen

• Zuverlässige Detektion von Mikrorissen
• Qualitätssicherung vor Stapelvereinzelung
• Reduzierung der Bruchrate in Produktionslinien
• Amortisationszeit kleiner als sechs Monate möglich

Datenblatt TAURUS Mikrorisse in Stapeln, Englisch