ORION – 3D Geometrievermessung

Optimieren Sie Ihren Fertigungsprozess

Das ORION 3D Geometrieprüfsystem ist für die zwei nachfolgenden Produktionsschritte geeignet:

• Nach dem Schneideprozess, um den anschließenden Polieraufwand zu reduzieren
• Für die Endkontrolle, um maximale Qualität bei geometrischen Blockmaßen und den Oberflächeneigenschaften zu erzielen

Leistungsdaten

Das Intego ORION 3D Geometrieprüfsystem kann Blockgrößen bis zu 210 x 210 x 1000 mm³ verarbeiten und weist – je nach Systemkonzept, Blocklänge und geforderter Genauigkeit – Zykluszeiten von 1 bis 5 Minuten pro Block auf. Um thermische Abweichungen zu vermeiden, wird ein Referenzblock, dessen exakte Abmessungen bekannt sind, bei jeder Messung gescannt.

• Vermessung der Länge, Breite und Höhe (Genauigkeit besser als 10 µm)
• Ermittlung der Winkellage, Rechtwinkligkeit und Ebenheit
• Vollautomatisiertes Kalibrierverfahren
• Erkennen von Defekten, Rillen und Stufen
• Rauheitsmessung
• 3D Vermessung der Blockoberseite
• Genaue Kantenvermessung
• Erstellung von Schleifvorschlägen

Technische Optionen

• Kombination mit dem Intego ORION NIR Prüfsystem
• Präzisionswaage
• Barcodescanner

Labor oder Produktionsumfeld

Die automatisierte Prüfung von Siliziumblöcken eignet sich sowohl für die automatisierte Fertigung, als auch für den manuellen Betrieb als stand-alone System, z.B. für das Labor.

Die Intego ORION Prüfsysteme verfügen über eine einfach zu bedienende hochmoderne Benutzeroberfläche. Es bedarf nur ein paar Mausklicks um verschiedene 3D Darstellungen der Ergebnisse zu erzeugen sowie benutzerdefinierte PDF Berichte herunterzuladen. Die Ergebnisse werden auf einem Benutzermonitor dargestellt, an dem Systemparameter angepasst, Prüfergebnisse überwacht und externe Betriebssignale abgegriffen werden können.

Die Ergebnisse können auch an eine bestehende Automatisierung und/oder MES übermittelt werden (z.B. durch Profibus, Ethernet). GEM/SECS, SemiE10, XML werden unterstützt, kundenspezifische Protokolle können bei Bedarf integriert werden.

Weitere Möglichkeiten

Sollten Sie eine individuelle Lösung wünschen, bietet Intego kostenlose Voruntersuchungen auf Basis von Musterteilen an. Mit der Studie erhalten Sie ein Systemkonzept mit einer Preisabschätzung.Zögern Sie nicht, uns direkt zu kontaktieren.